01C_封真空粗抽(頂出密封)
此儀器工作環境是在-7torr的高真空狀況,任務是高真空內的樣品盤,需要被取出或置入,在不破真空 不引響載台正常工作的前提下,移動到指定處頂出,同時完成隔離第二真空區域,準備取樣或置入樣品。 https://youtu.be/dGTff4klFtE?si=bJj5ObXH7HafYJx9
此儀器工作環境是在-7torr的高真空狀況,任務是高真空內的樣品盤,需要被取出或置入,在不破真空 不引響載台正常工作的前提下,移動到指定處頂出,同時完成隔離第二真空區域,準備取樣或置入樣品。 https://youtu.be/dGTff4klFtE?si=bJj5ObXH7HafYJx9